帕利灵的真空气相沉积工艺不仅和微电子集成电路制作工艺相似,而且所制备的帕利灵涂层介电常数也低,还能用微电子加工工艺进行刻蚀制图,进行再金属化,因此帕利灵不仅可用作防护材料,而且也能作为结...
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